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常见问题

净化工程之洁净度等级标准

发布日期:2018-03-09 17:39:00
 
洁净工程观感质量要求
国家标准GB50073-2001
美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)
1m3=35.3ft3。
   对照我国标准及美国标准可以看出,我国的3级标准与美国的1级标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程中,洁净室等级要求也越来越高。但目前半导体行业中普遍采用的均为千级(6级)或万级(7级),只有局部区域的高自动化作业才要求百级(5级)甚至更高。
 

 

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